Nikon SF120/130 步进式光刻设备
- 光源波长365nm
- 分辨率0.28um
- 主要用于6寸、8寸、及12寸生产线
- 广泛用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
主要技术指标
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分辨率 |
0.28um |
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N.A. |
0.62 |
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曝光光源 |
365nm |
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倍率 |
4:1 |
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最大曝光现场 |
26mm*33mm |
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对准精度 |
LSA:40nm FIA:45nm |
更多服务
提供6''、8''、12''设备硅片改造
提供光刻、涂胶显影设备零部件和耗材
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SF130
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