上海图双精密装备有限公司成立于2017年2月,位于上海浦东金桥出口加工区,公司专注于半导体设备研发、生产、销售和集成服务,同时是一家深耕于半导体设备系统领域的高新技术企业。主要核心业务包括半导体专用装备自主研发与生产制造,以及黄光制程光刻机、涂胶显影机及量检测设备的再制造。
公司拥有“自研光刻机+光刻机改造+全生命周期技术”的全栈能力,成功研发并落地首台1μm对准精度的“自研全自动对准曝光机”,并获专利91项。作为国家级“专精特新”小巨人企业和上海市高新技术企业,图双秉持“客户至上、优质高效”的理念,以技术创新为驱动,推动行业发展。