设备翻新服务

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1、对设备系统性能进行全方位测试检查与分析评估
2、主光学系统退化镜片的检测评价、翻新、更换，整机曝光性能的系统性调校与校准匹配
3、运动系统（工件台、掩膜台、衬底与掩膜版传输处理系统等）性能的检测评价、老化传感器的翻新、更换，运动定位系统性能的测试与调校
4、对准、焦面、成像性能等测量系统的性能检测评价，退化单元的翻新更换，测量精度系统性能的测试、适应与调校
5、系统及零部件翻新，更换老化的气路、水路及真空系统的执行器、传感器、管道，测试评估安全保护功能有效性

设备改造服务

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1、可根据不同需求，对设备进行小尺寸、透明片识别进行定制化改造
2、设备改造后，可对彩色光刻胶Mark进行识别
3、对焦系统优化调整，可适用于超薄、超厚衬底材料
4、光学系统改造或优化
5、传输系统改造
6、预对准系统改造

整线拆装机服务

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1、精密设备防震、恒温运输服务
2、国内外设备拆卸服务
3、设备安装与调试服务
4、具备完整的运行保障能力，包括备品备件供应及维护
5、提供质保、培训、on call等套餐式服务

半导体人工智能

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1、半导体智能量测
2、半导体虚拟工艺
3、半导体缺陷检测和溯源技术
4、半导体生产设备优化及维护智能化
5、半导体工艺设计流程智能化