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测试设备翻新改造

包含颗粒度检测仪、膜厚测试仪、电子显微镜(CD-SEM)、台阶仪等一系列集成电路生产用测试设备。以CD-SEM为例,翻新内容包括:
激光器更换
光学镜片的清洗及更换
oad Arm翻新
翻新片盒升降台
所有Shuttle, Sort-cam, Indexer’s Lead screws清洁和润滑
翻新或更换显示器
排线整理或更换

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