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◆包含颗粒度检测仪、膜厚测试仪、电子显微镜(CD-SEM)、台阶仪等一系列集成电路生产用测试设备。以CD-SEM为例,翻新内容包括: ●激光器更换 ●光学镜片的清洗及更换 ●oad Arm翻新 ●翻新片盒升降台 ●所有Shuttle, Sort-cam, Indexer’s Lead screws清洁和润滑 ●翻新或更换显示器 ●排线整理或更换
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