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◆涂胶显影设备翻新改造 -TEL Track ---Mark VZ、Mark 7/8、ACT 8(I-line,DUV) -SVG Track ---SVG 88、SVG 90 ◆服务内容包括设备原机性能评估测试、各功能模块功能恢复、设备精度调试及测试以达到客户要求,同时可提供保修期、培训及大线on-call服务,基片size可满足从8寸到4寸的不同需求。
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