刻蚀装备翻新改造

◆包含PECVD、干法刻蚀等一系列集成电路生产用刻蚀设备。包括包括AMAT/NOVELLUS/LAM主流设备，翻新内容包括:
●干泵翻新
●分子泵翻新
●射频源翻新
●MFC、Robot & Slide Valve 翻新
●更换全新Process kit、O-ring & 过滤器
●设备清洁及部件润滑
●排线整理或更换