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◆包含PECVD、干法刻蚀等一系列集成电路生产用刻蚀设备。包括包括AMAT/NOVELLUS/LAM主流设备,翻新内容包括: ●干泵翻新 ●分子泵翻新 ●射频源翻新 ●MFC、Robot & Slide Valve 翻新 ●更换全新Process kit、O-ring & 过滤器 ●设备清洁及部件润滑 ●排线整理或更换
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