技术指标

CD测量范围：0.04um～2.0um

分辨率：1.8nm

工件台精度测试：偏差在±1μm以内

OM/SEM 切换误差：1um

放大偏移量测试：0.1um

真空测试：IP-3 ≤5×10-5Pa
               IP-2 ≤5×10-6Pa
               IP-1 ≤2×10-7Pa