Nikon设备相关备件耗材
序号 品名 型号
1 掩膜版盒 5inch、6inch
2 OARMA汞灯 HBO 2510W/NIL
HBO 4500W/CILEH
HBO 1002W/NEL
HBO 2011W/NIL
HBO 3500W/PIL
HBO 5004W/NIL
HBO 1002W/NIL
3 USHIO汞灯 SUV-2001W/NIL
SUV-2011W/NIL
SUV-25011W/NIL
USH-1002FNL2
USH-1002FNL3
4 卤素灯 12V 50W
12V 100W
5 激光管05-LHP-991 10mw
6 陶瓷手臂(适用于type2/type3) Ftech arm1个/slide arm4个/Load/unload arm2个
7 stage驱动箱 CPCR-0101-NQ1C
8 干涉计 安捷伦5517A/5517B/5517C/5517D
9 WL中继板 4S018-057-1 /4S007-091-1
10 WL控制面板 4S018-058
11 照度计 i-line
12 Stage马达 02SN033/02MN023
13 RX马达 TC-214005G
14 RL马达 01SNQ22
15 OFX马达 ETC-266206/3CH
16 bellows /
17 测试掩模版 Nikon原版R2205HA/R2205HB/R2205HCD/R2205HMF/R2205HDIS
18 空调PLC FX-80MR

 

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