Canon FPA-5000ES4扫描式光刻设备
- 光源波长248nm
- 分辨率0.18um
- 主要用于8寸及12寸生产线
- 广泛用于MEMS、LED、功率器件等行业
主要技术指标
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分辨率 |
0.18um |
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N.A. |
0.60-0.73 |
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曝光光源 |
krf |
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倍率 |
4:1 |
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最大曝光现场 |
26mm*33mm |
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对准精度 |
|m|+3σ≦25nm |
更多服务
提供8''、12"设备硅片改造
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ES4
Canon FPA-5000ES4
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