Canon FPA-3000 EX5步进式光刻设备
- 光源波长248nm
- 分辨率0.28um
- 主要用于6寸及8寸生产线
- 广泛用于MEMS、LED、功率器件、化合物半导体等行业
主要技术指标
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分辨率 |
0.28um |
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N.A. |
0.45-0.63 |
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曝光光源 |
krf |
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倍率 |
5:1 |
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最大曝光现场 |
22mm*22mm |
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对准精度 |
|m|+3σ≦55nm |
更多服务
提供6''、8''设备硅片改造
提供光刻、涂胶显影设备零部件和耗材
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Canon FPA-3000EX5
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