Nikon 1755i7A/B步进式光刻设备
- 光源波长365nm
- 分辨率0.65um
- 主要用于2寸、4寸、6寸生产线
- 广泛用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
主要技术指标
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分辨率 |
0.65um |
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N.A. |
0.6 |
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曝光光源 |
365nm |
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倍率 |
5:1 |
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最大曝光现场 |
17.5mm*17.5mm |
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对准精度 |
140nm |
更多服务
提供2''、4''、6''设备硅片改造
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1755A
Nikon 1755i7A/B
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