Nikon NSR-2005i8A步进式光刻设备
- 光源波长365nm
- 分辨率0.5um
- 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
- 广泛用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
主要技术指标
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分辨率 |
0.5um |
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N.A. |
0.6 |
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曝光光源 |
365nm |
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倍率 |
5:1 |
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最大曝光现场 |
20mm*20mm |
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对准精度 |
LSA:120nm FIA:130nm |
更多服务
提供2''、4''、6''、8''设备硅片改造
提供光刻、涂胶显影设备零部件和耗材
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Nikon NSR-2005i8A
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