Nikon S204B扫描式光刻设备
- 光源波长248nm
- 分辨率优于0.18um
- 主要用于4寸、6寸、及8寸生产线
- 广泛用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
主要技术指标
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分辨率 |
0.18um |
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N.A. |
0.68 |
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曝光光源 |
248nm |
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倍率 |
4:1 |
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最大曝光现场 |
25mm*33mm |
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对准精度 |
LSA:40nm FIA:45nm |
更多服务
提供英文软件及4''、6''、8''设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材
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