Nikon S207D 扫描式光刻设备
- 光源波长248nm
- 分辨率0.11um
- 主要用于8寸及12寸生产线
- 广泛用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
主要技术指标
|
分辨率 |
0.11um |
|
N.A. |
0.82 |
|
曝光光源 |
248nm |
|
倍率 |
4:1 |
|
最大曝光现场 |
25mm*33mm |
|
对准精度 |
20nm |
更多服务
提供8''、12''设备硅片改造
提供光刻、涂胶显影设备零部件和耗材
更多型号设备，欢迎致电或继续游览网站
s204
Nikon S207D
产品中心
Products Center
